意昂2、部、中心📳：
為加快建設具有全球影響力的科技創新中心，進一步提升集成電路領域科技創新能力，加快突破集成電路領域核心關鍵技術，上海市科學技術委員會特發布2019年度“科技創新行動計劃”集成電路領域項目指南。
一🕌、征集範圍
專題一、關鍵核心產品技術攻關
方向1.集成電路製造裝備🉐、材料及零部件
研究目標🚝：研製具有國際競爭力的重大集成電路裝備及關鍵零部件產品，突破和掌握集成電路製造高端裝備系統設計💅🏿、集成和應用關鍵技術，持續提升集成電路高端裝備的零部件配套能力🦴。
研究內容：（1）集成電路高端裝備用關鍵零部件研發✫、驗證與應用🚈。（2）面向集成電路領域激光隱性切割技術研究與工藝驗證。（3）矽片晶圓標識技術研究與驗證（4）高能離子註入機關鍵技術研究與樣機驗證🧼。（5）10nm銅化學機械拋光液及14nm大馬士革工藝光刻膠去除劑研發。
執行期限🥬：2022年6月30日前完成🧧。
經費額度💠：本方向非定額資助🧑🏼🏭。
申報主體資質條件：本市企業🐼。企業投入研發經費與申請資助經費之比不低於2:1。
方向2.集成電路製造關鍵技術
研究目標👨🏼🎓：突破集成電路製造工藝模塊開發和工藝整合關鍵瓶頸🏇，掌握具有自主知識產權的工藝技術，支撐先進工藝生產線建設和量產能力提升。
研究內容👐🏻：大面陣😖、高動態CMOS圖像傳感器工藝研發提升。
執行期限👷🏼♂️：2021年6月30日前完成👩🏻💼。
經費額度：本方向非定額資助。
申報主體資質條件🏄🏼♀️🦹🏽♂️：本市企業。企業投入研發經費與申請資助經費之比不低於2:1。
方向3.核心芯片器件、模塊及其應用
研究目標🧠：與汽車等優勢產業和應用需求緊密結合，持續推動核心產品的產業鏈上下協同創新，突破芯片、模塊自主設計、製造和應用關鍵技術。
研究內容：（1）750V/250A以上功率等級IGBT芯片、模塊開發及新能源汽車示範應用。（2）高能氫註入溝槽場中止IGBT工藝開發。（3）碳化矽功率器件、光導開關器件研發和應用。（4）車規級集成電路芯片及相應傳感器🤾🩴、控製器研發並小批量試裝驗證👮🏼🍽。（5）面向第四代PCIe通訊的超高速時序整合芯片研發與產業化🎟。（6）汽車級EEPROM研發與應用👩🏻🦱💁♂️。
執行期限：2022年6月30日前完成𓀈。
經費額度：本方向非定額資助。
申報主體資質條件：本市企業🧝🏼。企業投入研發經費與申請資助經費之比不低於2:1📷。
專題二、前瞻和共性技術研究
方向1.集成電路前沿理論與技術
研究目標🧑🚀🫃：面向高性能非易失存儲與低功耗計算的基礎問題，探索新材料👋🏼🛠、新結構和新原理🤼，實現超高速低功耗非易失存儲與計算，完成原型器件驗證。
研究內容🤟🏿🧛🏽♂️：研究非易失存儲中的載流子微觀輸運機製🐅，探索其在存算一體化和神經形態計算等方面的應用。
執行期限🐄：2022年6月30日前完成
經費額度：本方向非定額資助
申報主體資質條件：本市獨立法人單位🧚🤘。
方向2.集成電路新器件🧑🏿、新工藝🧑🏿🦲、新方法研究
研究目標：面向未來電子學對更多功能集成智能微系統芯片的重大需求，突破材料級、器件級、系統級一體化微納集成芯片技術，為下一代智能集成微系統芯片提供支撐🐼。
研究內容☣️🚱：三維異質集成設計與製造關鍵技術研究及芯片驗證◀️。
執行期限🔟🧏🏽♀️：2022年6月30日前完成。
經費額度：本方向非定額資助，每個研究內容支持不超過2項。
申報主體資質條件：本市獨立法人單位。企業牽頭項目企業投入研發經費與申請資助經費之比不低於1:1。
二、申報要求
除滿足前述相應條件外⤴️，還須符合以下要求🦏：
1.項目申報單位應當是註冊在本市的獨立法人單位；項目負責人應當受聘於項目申報單位🍼，受聘期覆蓋項目實施周期。
2.研究內容已經獲得市級或區級財政資金支持的，不得重復申請財政資金支持。
3.作為項目負責人承擔的市科委科技計劃項目有2項及以上尚未驗收的，不得再作為項目負責人申報。
4.項目申報單位𓀛、項目負責人和參與人應當符合科研誠信管理要求🧔🏼♂️。項目申報單位應當對申報材料的真實性和完整性進行審核，不得含有涉密內容。
5.項目經費預算編製應當真實、合理⤴️，符合市科委科技計劃項目經費管理的有關要求。
6.如要對評審專家提出回避申請的，項目申報單位應當在提交申報材料時👩🏿💻，提出回避名單（不超過3人）及理由。
7.要求申報單位在申報的研究內容相關領域有較強的團隊和技術基礎。鼓勵聯盟、功能型平臺組織產業鏈上下遊聯合申報🏄♀️。優先支持市區聯動扶持項目。
三🦸、申報方式
1.本指南公開發布。申請人通過“中國上海”門戶網站（www.sh.gov.cn）進入“上海市財政科技投入信息管理平臺”，網上填報項目可行性方案\項目建議書，並在線打印書面材料（非由申報系統在線打印的書面材料⛴，或書面材料與網上填報材料不一致的，不予受理）🧑🏼🌾。
網上填報程序👩🔧：
（1）登陸“中國上海”網站（www.sh.gov.cn）；
（2）一網通辦—財政科技—點擊“上海市財政科技投入信息管理平臺”圖片鏈接進入申報頁面🕑：
-【賬戶註冊】轉入註冊頁面進行單位註冊，然後再進行申報賬號註冊（單位註冊需使用“法人一證通”進行校驗）；
-【初次填寫】使用申報賬號登錄系統，轉入申報指南頁面，點擊相應的指南專題後開始申報項目；
-【繼續填寫】登錄已註冊申報賬號、密碼後繼續該項目的填報。
（3）有關操作可參閱在線幫助🧔♀️⚗️。
2.項目網上填報起始時間為2019年5月17日9:00🧘🏼，截止時間為2019年6月5日16:30。請申報該項目的老師於5月31日14點前提交紙質版材料，電子版發送至msxingchenchen@126.com🆑。所有書面材料采用A4紙雙面打印🪳，一式二份，須簽字齊全🧚🏼♀️。逾期送達的🤲🏼，不予受理。請以我校為合作單位的申請人，請提前一周與科研處聯系🧋。
3.學校基本情況信息見學校雲盤-科研處。
四、評審方式
市科委對申報材料進行形式審查➔，並組織評審工作，采用通訊評審）項目評審采用通訊評審方式，不安排答辯環節。
五、立項公示
市科委將向社會公示擬立項項目清單，接受公眾異議🧔🏻♀️。
六、其它說明
項目承擔單位須在項目驗收前提交《科技報告》🗂。
七🚓、咨詢電話
服務熱線🫛：8008205114（座機）、4008205114（手機）
技術支持：62129099-2257
聯系人：邢晨晨
聯系電話🀄️：67791237
科研處
2019年5月10日